一、純水之定義
DI=Deionized , DI Water = Deionized Water，爲去離子之意，亦即通稱之純水(PURE WATER)，近來由于半導體制程對(duì)設計規則之需求朝更精密更細小的趨勢發(fā)展，因而對(duì)純水水質的要求也越趨嚴格，在此嚴格水質要求下所制造出來稱之純水(Ultra-pure water)。
其狹義之意：爲去離子之水，將(jiāng)水中之離子(如Na+、Ca2+、Mg2+、Al3+、C1-、F-、SO42-、NO3-、etc.) 予以去除，降低其離子濃度，提水之電阻值(Ω·cm)。
其廣義之意：爲除了除去水中離子之外，亦將(jiāng)水中之SiO2，顆粒物，細菌，有機物，微生物一并給予有限度的去除，使水達到完純淨的程度，而用于電子工業之上。
二、18MΩ·cm純水制備工藝
自來水進(jìn)入原水箱，通過(guò)原水泵增壓，經(jīng)砂濾器、炭濾器、阻垢劑加藥、保安過(guò)濾器，到達反滲透單元，經(jīng)兩(liǎng)級反滲透過(guò)濾進(jìn)入EDI單元，達到電阻率15MΩ·cm(25℃)進(jìn)入純水水箱。純水供水設計爲循環方式，經(jīng)純水供水泵增壓，通過(guò)紫外線消毒器、抛光混床Tulsimer® MB 106 UP、0.22微米過(guò)濾器接入純水供水管，到達使用點。
2.1 預處理單元
采用石英砂過(guò)濾、活性炭過(guò)濾、保安過(guò)濾作爲兩(liǎng)級反滲透的預處理。
2.2 反滲透模塊單元
反滲透膜是以壓力差爲驅動力的液相膜分離方法，可以看作是滲透的一種(zhǒng)反向(xiàng)作用。在壓力推動下，溶液中的水分子透過(guò)膜，而其它分子、離子、細菌、病毒等被(bèi)截留，從而實現脫鹽效果，達到純化目的。
整個反滲透系統由壓泵、反滲透膜、壓力容器以及相應的儀器、儀表、閥門、機架、管道(dào)及管件等組成(chéng);此外還(hái)有獨立的化學(xué)清洗裝置。
2.3 EDI模塊單元
EDI技術是將(jiāng)膜法和離子交換法結合起(qǐ)來的新工藝，基本原理主要包括離子交換、直流電場下離子的選擇性遷移及樹脂的電再生。水中的離子首先通過(guò)交換作用吸附于樹脂顆粒上，再在電場作用下經(jīng)由樹脂顆粒構成(chéng)的“離子傳輸通道(dào)”遷移到膜表面(miàn)并透過(guò)離子交換膜進(jìn)入濃室。由于離子的交換、遷移及離子交換樹脂的電再生相伴發(fā)生，猶如邊工作邊再生的混床離子交換樹脂柱，因此可以連續不斷地制取質量的純水、純水。
EDI系統由增壓泵、膜堆、電源以及相應的儀器、儀表、閥門、機架、管道(dào)等組成(chéng)。
2.4 抛光混床模塊單元
純水終端混床樹脂是在其嚴格的工藝控制條件下制成(chéng)的，樹脂經(jīng)過(guò)特别的處理，再生轉型已接近限化，故具有的再生效率和低的雜質含量，并具有強的交換能(néng)力和很的機械強度。 純水終端混床樹脂無需再生，就(jiù)可廣泛應用于電子工業純水制備;實驗室純水;效液相色譜用純水;含放射物處理;藥品;半導體行業;凝結水以及其它各種(zhǒng)水處理工藝的終端混床精處理。的混床樹脂可确保出水水質達到穩定，産水水質16~18.2MΩ，生産質量的純無矽純水。
2.5 供水單元
純水供水循環采用254nm紫外線殺菌、抛光混床脫鹽、0.22微米過(guò)濾，達到用戶的純水水質要求。
爲保證純水的以及生物學(xué)指标，在純水制備的終端設置精度爲0.22μm的微濾膜過(guò)濾器，用于截留去除脫鹽設備出水中的微粒以及細菌屍體。由于0.22μm的微濾膜膜過(guò)濾器爲整個脫鹽工藝的後(hòu)一道(dào)處理設備，因此又稱終端過(guò)濾器。過(guò)濾器内裝折疊式微孔濾膜，過(guò)濾精度0.22μm，過(guò)濾器出口設置壓力表。過(guò)濾器經(jīng)過(guò)一段時(shí)間的運行後(hòu)，濾膜表面(miàn)截留了大量雜質，使濾膜堵塞，導緻工作壓力增加，當進(jìn)出口壓力差增大到某一設定值時(shí)，更換濾膜。
終端過(guò)濾器由罐體、0.22μm濾芯、壓力表組成(chéng)。
适用于生産半導體集成(chéng)電路、顯示器、硬盤、CD﹣ROM等用水。在進(jìn)水得到充分的處理及合理的混床設計情況下，Tulsimer® MB 106 UP的出水電阻率能(néng)達到>18.25MΩ。
北京總部：
